- 測(cè)量范圍：200μm~950μm
- 軸向分辨率：30nm ~120nm
- 線寬：0.96mm~1.92mm
- XYZ軸位移量：0.1μm
- 工件重量：20kg
- XYZ軸定位：1μm
3D表面粗糙度儀TR scan
TR-Scan系列非接觸表面微觀形貌(粗糙度)測(cè)量儀,，系統(tǒng)采用TRIMOS技術(shù)數(shù)字全息三維顯微測(cè)量技術(shù)(DHM)，廣泛應(yīng)用于高精密微觀表面檢查,。與傳統(tǒng)非接觸測(cè)量技術(shù)相比,，測(cè)量速度快，對(duì)震動(dòng)不敏感,，真正的實(shí)現(xiàn)三維形貌納米級(jí)測(cè)量,。模塊化的設(shè)計(jì)理念,，可配置共焦顯微系統(tǒng), 探針測(cè)量系統(tǒng)，傳感器直接更換,，方便快捷,，極大的滿足了不同的應(yīng)用范圍。即可用于計(jì)量單位和材料科學(xué)研發(fā)實(shí)驗(yàn)室,，也廣泛應(yīng)用在工業(yè)制造領(lǐng)域：汽車,、航天、航空,、表面涂層,、醫(yī)療產(chǎn)品、微型電機(jī)系統(tǒng),、半導(dǎo)體等行業(yè),。
3D表面粗糙度儀TR scan主要特點(diǎn)：
◆ 非接觸式測(cè)量原理，無損化檢測(cè)粗糙度,，微觀形貌
◆ 獨(dú)有的數(shù)字全息三維顯微技術(shù),，真正實(shí)現(xiàn)3D微觀形貌測(cè)量
◆ 創(chuàng)新的成像原理，從原理上保證了對(duì)外界振動(dòng)不敏感,，Z軸分辨率高
◆ 激光找正工件并自動(dòng)定位，測(cè)量速度快
◆ 模塊化的設(shè)計(jì)概念,，多種光學(xué)光路原理,，直接更換傳感器，不需要調(diào)整,，方便快捷
◆ 可非標(biāo)定制相應(yīng)的測(cè)量頭,，滿足不同客戶的特殊工件測(cè)量要求
◆ 即可選用數(shù)字全息技術(shù)實(shí)現(xiàn)高精密表面測(cè)量，也可選用色譜共焦技術(shù)實(shí)現(xiàn)微觀輪廓測(cè)量或選用接觸式探針實(shí) 現(xiàn)內(nèi)壁粗糙度測(cè)量
◆ 慣用了Trimos“智能用戶界面”的理念,，測(cè)量過程全 自動(dòng),，操作簡單
◆ 采用的3D形貌分析軟件，功能強(qiáng)大,，即可實(shí)現(xiàn)2D輪廓測(cè)量,，也可進(jìn)行3D形貌分析
◆ 可進(jìn)行編程批量檢測(cè)并自動(dòng)生成分析
◆ 完全兼容2D標(biāo)準(zhǔn)，并已內(nèi)置即將制定的3D標(biāo)準(zhǔn)
3D表面粗糙度儀TR scan技術(shù)參數(shù)：
| 工作臺(tái)移動(dòng)范圍X | 100mm | ||
| 工作臺(tái)移動(dòng)范圍Y | 固定式 | ||
| 工作臺(tái)移動(dòng)范圍Z | 240mm | ||
| XYZ軸位移量 | 0.1μm | ||
| XYZ軸定位 | 1μm | ||
| XY軸導(dǎo)軌直線度 | 1.5μm | ||
| 工件重量 | 20kg | ||
| 測(cè)量原理 | 非接觸式多點(diǎn)譜線共焦傳感器 | ||
| 光源 | 白色LED共軸光,，高強(qiáng)光,，數(shù)字可控 | ||
| 色譜共焦傳感器 | CLS0.2 | CLS1 | CLS4 |
| 線寬 | 0.96mm | 1.92mm | 4.8mm |
| 工作距離 | 5.3mm | 18.2mm | 39mm |
| 光斑間隙 | 5μm | 10μm | 25μm |
| 光斑大小 | 2μm | 4μm | 10μm |
| 爬坡坡度 | ±44deg | ±33deg | ±20deg |
| 測(cè)量范圍 | 200μm | 950μm | 4mm |
| 軸向分辨率 | 30nm | 120nm | 500nm |
| 90nm | 360nm | 1.5μm | |
| 厚度分辨率 | 15μm | 70μm | 300μm |
| 測(cè)量厚度 | 300μm | 1.5mm | 6mm |
3D表面粗糙度儀TR scan圖片展示
